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集成芯片的前世今生3

作者: 晶拓液晶屏 編輯: 晶拓液晶屏小編 來(lái)源: 晶拓液晶屏 發(fā)布日期: 2018.06.29
信息摘要:
上一章我們講到集成芯片制作的基板硅晶圓,那么這一章我們接著來(lái)講硅晶圓是怎么一步一步制作成我們最終看到的集成芯片的。我們可以分成前段制程(Fr…

        上一章我們講到集成芯片制作的基板硅晶圓,那么這一章我們接著來(lái)講硅晶圓是怎么一步一步制作成我們最終看到的集成芯片的。我們可以分成前段制程(Front End)和后段制程(Back End)兩個(gè)制程來(lái)講解,前段制程包含晶圓處理制程(Wafer Fabrication 簡(jiǎn)稱Wafer Fab)和晶圓針刺制程(Wafer Probe)。

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那么現(xiàn)在我們先來(lái)介紹前段制程:
一.晶圓處理制程 
        主要工作為在硅晶圓上制作電路和電子元件(如:電晶體,電容體,邏輯閘等),為上述各制程中所需技術(shù)最復(fù)雜且資金投入最多的過(guò)程,以微處理器(Microprocesser)為例,其所需處理步驟可達(dá)數(shù)百道,而其所需加工機(jī)臺(tái)先進(jìn)且昂貴,動(dòng)輒數(shù)千萬(wàn)一臺(tái),其所需制造環(huán)境為唯一溫度,濕度與含塵(Particle)均需控制的無(wú)塵室(Clean-room),雖然詳盡的處理程序是隨著產(chǎn)品種類和所使用的技術(shù)有關(guān),不過(guò)其基本處理步驟通常是晶圓先經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)那逑矗–leaning)之后,接著進(jìn)行氧化(Oxidation)及沉積,最后進(jìn)行微影,蝕刻及離子植入等反復(fù)步驟,以完成晶圓上電路的加工和制作。

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二. 晶圓針刺制程
        經(jīng)過(guò)Wafer Feb之制程后,晶圓上即形成一格格的小格,我們稱之為晶方或者晶粒(Die),在一般情形下,同一晶圓上皆制作相同的晶片,但是有可能在同一晶圓上制作不同規(guī)格的產(chǎn)品,這些晶圓必須通過(guò)晶片允收測(cè)試,晶粒將會(huì)一一經(jīng)過(guò)針測(cè)(Probe)儀器以測(cè)試其電氣特性,而不合格的晶粒將會(huì)被標(biāo)上記號(hào)(Ink Dot),此程序即稱之為晶圓針測(cè)制程(Wafer Probe),然后晶圓將依晶粒為單位分割成一粒粒獨(dú)立的晶粒。
        至此,我們前段制程的基本簡(jiǎn)單的介紹已經(jīng)跟大家分享完了,也就是說(shuō)現(xiàn)在的晶圓已經(jīng)變成了一粒粒獨(dú)立的晶粒了,至于晶粒接下來(lái)我們要怎么進(jìn)行處理,我將在下一個(gè)章節(jié)繼續(xù)給大家介紹后段制程,我們先來(lái)了解下后段制程包含構(gòu)裝(Packaging)和測(cè)試制程(Initial Test and Final Test)。以便我們下一章節(jié)的繼續(xù)講解。


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