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晶拓液晶屏

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晶拓淺談液晶顯示器的制造工藝

作者: 晶拓小編 編輯: 晶拓液晶屏 來(lái)源: 晶拓液晶屏工廠 發(fā)布日期: 2018.08.02
信息摘要:
據(jù)晶拓小編了解到液晶顯示器的制造工藝與集成電路的制造工藝基本相似,不同的是液晶顯示器中的TFT層狀結(jié)構(gòu)制作于玻璃基板上,而不是硅片上,此外,…

據(jù)晶拓小編了解到液晶顯示器的制造工藝與集成電路的制造工藝基本相似,不同的是液晶顯示器中的TFT層狀結(jié)構(gòu)制作于玻璃基板上,而不是硅片上,此外,TFT加工工藝所要求的溫度范圍是300~500℃,而集成電路制作工藝要求的溫度范圍是1000℃。

淀積工藝:應(yīng)用于液晶顯示器制造工藝的淀積(Deposition)方法主要有兩種:一種是離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積法,另一種是濺射淀積法。離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積的基本原理是:將玻璃基板至于真空腔室中,并且加熱至一定的溫度,隨后通入混合氣體,同時(shí)RF電壓施加于腔室電極上,混合氣體轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子狀態(tài),于是在基體上形成一種金屬或化合物的固態(tài)薄膜或鍍層。濺射淀積法的基板原理是:在真空室中,利用荷能粒子轟擊靶,使其原子獲得足夠的能量而濺出進(jìn)入氣相,然后在工件表面淀積出與靶相同材料的薄膜。一般地,為不改變靶材的化學(xué)性質(zhì),荷能粒子為氦離子和氬離子。濺射淀積法有直流濺射法、射頻濺射法等多種。

晶拓淺談液晶顯示器的制造工藝

光刻工藝:將掩膜上的圖形轉(zhuǎn)移至玻璃基板上的過(guò)程。由于LCD板上的刻線品質(zhì)取決于光刻工藝,因此它是LCD加工過(guò)程中最重要的工藝之一。光刻工藝對(duì)環(huán)境中的粉塵顆粒很敏感,因此它必須置于高度潔凈的室內(nèi)完成。

刻蝕工藝:分為濕法刻蝕工藝和干法刻蝕工藝,濕法刻蝕工藝用液體化學(xué)試劑以化學(xué)方式去除基板表面的材料,其優(yōu)點(diǎn)是用時(shí)短、成本低、操作簡(jiǎn)單。干法刻蝕工藝是用等離子體進(jìn)行薄膜線條腐蝕的一種工藝,按照反應(yīng)機(jī)理可分為等離子刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕、磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕和高密度等離子刻蝕等類型,按結(jié)構(gòu)形式又可分為筒型、平行平板型。干法刻蝕工藝的優(yōu)點(diǎn)是橫向腐蝕小,控制精度高,大面積刻蝕均勻性好,利用ICP技術(shù)還可以刻蝕垂直度和光潔度都非常好的鏡面,因此,干法腐蝕在制作微米及深亞微米,納米級(jí)的幾何圖形加工方面,有很明顯的優(yōu)勢(shì)。

液晶顯示器制造工藝的發(fā)展趨勢(shì):由于玻璃底板的大小對(duì)生產(chǎn)線所能加工的LCD最大尺寸,以及加工的難度起決定作用,所以LCD業(yè)界根據(jù)生產(chǎn)線所能加工的玻璃底板的最大尺寸來(lái)劃分生產(chǎn)線屬于哪一代,例如5代線最高階段的底板尺寸是1200X1300mm,最多能切割6片27英寸寬屏LCD-TV用基板;6代線底板尺寸為1500X1800mm,切割32英寸基板可以切割8片,37英寸可以切割6片。7代線的底板尺寸是1800X2100mm,切割42英寸基板可以切割8片,46英寸可以切割6片。圖4.1給出了1~7代的玻璃底板尺寸界定情況。目前,全球范圍已經(jīng)進(jìn)入第6代和第7代產(chǎn)品生產(chǎn)的階段,預(yù)計(jì)在未來(lái)兩年里,第5代及第5代之前的生產(chǎn)能力的增加幅度將逐漸減小,而第6代和第7代的生產(chǎn)能力在近兩年將形成加快增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)。

晶拓是蘇州啟普微電子有限公司旗下LCD液晶屏品牌,公司是一家智能電子產(chǎn)品一站式的服務(wù)商,主要供應(yīng)單片機(jī)方案設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā)以及TN/HTN/STN/FSTN液晶顯示器、COG/COB液晶模塊及各類背光源產(chǎn)品,在儀器、儀表、POS系統(tǒng)、電話、門禁、電腦、通信、電視、智能小家電等領(lǐng)域占有較大的市場(chǎng)份額。咨詢熱線:13862038982

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