浮膠是顯影或腐蝕過程中常出現(xiàn)的一種不良現(xiàn)像，也是影響較為嚴重的一種光刻弊病。
顯影時產(chǎn)生的浮膠
       在顯影時，玻璃表面的膠膜皺起呈桔皮狀或膠膜大片剝離。產(chǎn)生這一現(xiàn)像，說明膠膜與玻璃表面ITO層粘附不好，得認真找出原因。同時，出現(xiàn)問題的玻璃得返工。

顯影時出現(xiàn)浮膠的原因一般有：
      1）涂膠前玻璃表面清潔處理不當，表面有油污，不汽等，或玻璃清潔后在空氣中放置時間過長，空氣中的水汽附在玻璃表面上;或者涂膜操作環(huán)境濕度太大，使膠與玻璃表面粘附不良。因此，得注意做好玻璃表面清潔處理和操作的環(huán)境的溫，濕度及清潔工作。

      2）光刻膠配制有誤或膠陳舊不純，膠的光化學反應性能不好，使膠與ITO層成健能力差，或者膠膜不均勻和過厚，引起粘附不良。
       3）前烘時間不足或過度。烘焙不足，膠膜內溶劑不能及時揮發(fā)，顯影時部分膠膜被溶除;烘焙過度，膠膜翹曲硬化，膠的感光特性會發(fā)生變化。所以前烘得恰當。
      4）曝光不足，光硬化反應不徹底，膠膜溶于顯影液中，引起浮膠。因此在保證分辨率的前提下，曝光要充分。
      5）顯影時間太長，顯影液從膠膜底部不斷滲入，引起膠膜浮起。因此得控制好顯影時間。

【責任編輯】: 晶拓液晶